蒸着源と成膜位置の調整や、装置の改造、増設の際に上下方向の長ストロークも可能にするベローズタイプの移動機構です。

蒸着源と成膜位置の調整や、装置の改造、増設の際に上下方向の長ストロークも可能にするベローズタイプの移動機構です。