PVRはSVTA社製 RF plasma sourceを数多く取り扱った実績があります。

Plasma Sourceカタログ①
RF4.50 High Growth Rate RF Plasma Source（604KB）ファイルがありませんダウンロード
Plasma Sourceカタログ②
Mini RF Plasma Source（1.56MB）ダウンロード

メンテナンス等、様々なご要望も是非ご相談ください。