スパッター装置

様々なターゲットや、製膜条件に合わせた稼動圧力範囲の広いガンです。

２インチ、３インチのスパッタガンをシリーズとしています。
UHVにも対応いたします。
また、磁性体材料をターゲットとすることも可能です。
DCスパッタ、ＲＦマグネトロンスパッタとターゲット材料に合わせてお選びください。