スパッター装置
様々なターゲットや、製膜条件に合わせた稼動圧力範囲の広いガンです。
２インチ、３インチのスパッタガンをシリーズとしています。
UHVにも対応いたします。
また、磁性体材料をターゲットとすることも可能です。
スパッタ装置カタログ.pdf（38KB）
2inchsputtergun.pdf へのリンク（67.5KB)
２インチ、３インチのスパッタガンをシリーズとしています。
UHVにも対応いたします。
また、磁性体材料をターゲットとすることも可能です。
スパッタ装置カタログ.pdf（38KB）
2inchsputtergun.pdf へのリンク（67.5KB)
バナースペース
PVR
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