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PVRはPLD、スパッタ装置等、真空機器の設計、製造、改造を行うプロフェッショナルです。

TEL. 027-226-5491

〒371-0032 群馬県前橋市若宮町4-26-2

マスク移動機構

 

　本機構は成膜装置内部基板に近接した位置に設置され、成膜移動させる事により各種のマスクパターンに従った形状の成膜を基板上に転写する事が出来ます。同一基板上に異なる性質を持った膜を生成することが出来るので、目的の条件を効率よく探せます。


シーケンサーによるプログラム制御により傾斜製膜、ドット成膜等出来ます。
タッチパネルによる操作で取扱いが容易です。

mask.pdf へのリンク（114KB)

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