複合型イオンポンプ(Ion Pump built-in NEG getter)
イオンポンプにNEGゲッターを内蔵し、円筒型多極磁界方式を採用した複合型イオンポンプです。小型軽量で消費電力が少なく、電気的ノイズの発生もないため、微弱電気信号の精密制御や測定器との接続が可能です。    10-9Pa台の到達圧力 接続の一例（写真はCF70）NEGゲッターpillはカートリッジ式で交換可能です。（脱ガスヒーター内蔵）
CF70接続型で20ℓ/ｓ、CF114接続型で50ℓ/ｓの排気速度を有しています。 ※イオンポンプは国立研究開発法人情報通信研究機構（NICT)からの特許の許諾を受けています。 PMI-070-NEGS、PMI-114-NEGSカタログ |
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